產品介紹,按照真空計測量(liáng)原理(lǐ)所利用(yòng)的(dí)不同(tóng)的物(wù)理機(jī)製(zhì)，可將主(zhǔ)要(yào)的(dí)真空計分(fēn)為三(sān)大類，分別是利(lì)用力學(xué)性能，利(lì)用氣體動力(lì)學效應和(hé)利(lì)用帶(dài)電粒子(zǐ)效(xiào)應的真空(kōng)計。利用力(lì)學性(xìng)能(néng)的真(zhēn)空(kōng)計(jì)典(diǎn)型的有(yǒu)波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜(mó)電容(róng)規(guī)；利(lì)用氣體(tǐ)動(dòng)力學效(xiào)應的典型(xíng)真(zhēn)空(kōng)計有皮(pí)拉(lā)尼(ní)（Pirani）電阻規和熱電偶規(guī)；利用帶(dài)電粒子效應的典型(xíng)真空計有熱陰極電(diàn)離規(guī)和冷(lěng)陰(yīn)極(jí)電離規。

APG100係列有源皮(pí)拉尼真空計(jì)有2種型號(hào)可供(gōng)選擇。APG100-XM是標準(zhǔn)型號，測 量(liáng)上限可達(dá)到(dào)10-3mbar，APG100-XLC則是一(yī)種(zhǒng)耐腐蝕型號，其測量上限(xiàn)可達到(dào)10-4 mbar。這兩種真(zhēn)空計型(xíng)號(hào)均具(jù)備(bèi)易於(yú)安(ān)裝的(dí)緊湊外形，綫(xiàn)性(xìng)輸出(chū)和可(kě)更(gēng)換傳感器 管(guǎn)。這(zhè)種(zhǒng)真空計(jì)兼容(róng)所有(yǒu)Edwards TIC儀器控製器(qì)以(yǐ)及其(qí)他(tā)有(yǒu)源(yuán)真(zhēn)空(kōng)計控製(zhì)器和顯示(shì)器。 

APG100係列特性與優勢(shì)

電(diàn)纜連(lián)接和(hé)真空(kōng)計(jì)調整可(kě)以方(fāng)便地定位(wèi)，因而需(xū)要最(zuì)小的檢修空(kōng)間(jiān)

傳(chuán)感(gǎn)器管可(kě)以(yǐ)加(jiā)熱到(dào) 150℃

設定(dìng)點可(kě)以(yǐ)調(tiáo)整(zhěng)，便(biàn)於(yú)製程(chéng)控製和(hé)互(hù)鎖(suǒ)

可(kě)以(yǐ)進行遠(yuǎn)程(chéng)校準

已獲(huò) CSA C/US 批準

綫性(xìng)輸出(chū) - 每十(shí)進製 1 伏特，便(biàn)於與真空控製(zhì)係(xì)統連接(jiē)

LED 狀態指示(shì)燈顯(xiǎn)示(shì)正(zhèng)常和故障狀態(tài)

可(kě)根(gēn)據(jù)需要(yào)提(tí)供(gōng)非(fēi)標準法蘭接頭。

APG100係列技(jì)術數據(jù)

測量範(fàn)圍 (APG100-XM)大氣(qì)壓至 10-3 mbar

測量(liáng)範圍(wéi) (APG100-XLC)大(dà)氣(qì)壓(yā)至 10-4 mbar

準確(què)度(dù) (APG100-XM)通常為(wéi) +/- 15%（<100 mbar 時）

準(zhǔn)確度 (APG100-XLC)通常(cháng)為(wéi) +/- 15%（<10 mbar 時）

z big 過壓10 bar 絕壓(yā)（145 psi）

工作(zuò)溫(wēn)度範(fàn)圍5 至(zhì) 60 ℃

存(cún)儲溫度(dù)範圍-30 至 70 ℃

z高(gāo)烘烤溫度（不(bù)帶電子(zǐ)器件(jiàn)） 150 ℃

APG100係列部分(fēn)型(xíng)號例舉如(rú)下:

APG-MP-NW16 ST/ST停產(chǎn),替(tì)代APG100-MP-NW16

APG-M-NW16 /D02171000停產(chǎn),用APG100-M-NW16替代

APG100-XM NW16法蘭(lán)  D02601000

APG100-XM NW25法(fǎ)蘭  D02602000

APG100-XM DN16CF法蘭  NRD710000

APG100-XLC 耐(nài)腐蝕(shí)DN16CF法(fǎ)蘭 NRD712000

APG100-XLC 耐腐蝕NW16法蘭  D02603000

APG100-XLC 耐腐蝕NW25法蘭  D02604000

Edwards愛德(dé)華皮拉(lā)尼(ní)真(zhēn)空計(jì)APG200,緊湊(còu)的外觀(guān)尺寸，LED環(huán)狀(zhuàng)指(zhǐ)示(shì)燈，內置(zhì)設定點(diǎn)以(yǐ)及(jí)靈活的I/O模擬信(xìn)號(hào)，EDWARDS全新推出的APG200係列真空計可以(yǐ)滿足(zú)您對真空(kōng)計量(liáng)的幾(jī)乎所有需求。

特(tè)點(diǎn)1：緊(jǐn)湊型高(gāo)性(xìng)能真空(kōng)計(jì)

此次(cì)推出的(dí)APG200係列真空(kōng)計燈絲材質耐(nài)腐(fǔ)蝕，測量(liáng)範(fàn)圍從(cóng)大氣(qì)壓至(zhì)5x10-4mbar（M或MP係(xì)列(liè)）及(jí)1x10-4mbar（LC係列(liè)），結合D特(tè)的(dí)內(nèi)部(bù)設(shè)計(jì)，在提高(gāo)了測(cè)量(liáng)靈(líng)敏度(dù)的(dí)同時，外觀尺寸(cùn)上(shàng)縮減約25%。

特點(diǎn)2：D特的環狀LED指示(shì)燈

APG200係列真空計(jì)頂部配有(yǒu)D特(tè)的(dí)環狀(zhuàng)LED顯(xiǎn)示燈(dēng)，在不同真(zhēn)空(kōng)度下(xià)作不同頻(pín)率(shuài)閃(shǎn)爍(shuò)顯示，無(wú)需(xū)外接控製(zhì)器，真空(kōng)度一目(mù)了然。

特點3：應用廣泛

愛德華(huá)EDWARDS涉(shè)足(zú)真(zhēn)空計設(shè)計(jì)和生產多(duō)年(nián)，通(tōng)過(guò)一係列(liè)升級和(hé)功能增強，APG200可(kě)適用(yòng)於所有需要(yào)測(cè)量真空的(dí)市場(cháng)，更(gēng)小(xiǎo)的尺(chǐ)寸和(hé)多(duō)樣的輸(shū)出(chū)模式使其(qí)可以(yǐ)更(gēng)好(hǎo)的(dí)被(bèi)集成(chéng)至分析儀(yí)器中，全(quán)新接口(kǒu)和環狀(zhuàng)指示燈可以(yǐ)幫助半導體行業(yè)客(kè)戶更好(hǎo)地管理(lǐ)維保周(zhōu)期(qī)，而局部(bù)壓(yā)力指示有助於科研用戶(hù)在遠離主(zhǔ)界麵時檢測(cè)實驗進(jìn)展。

我(wǒ)們深(shēn)知(zhī)，法蘭(lán)與(yǔ)連接(jiē)件(jiàn)對真空(kōng)測量的(dí)重(zhòng)要性，與之(zhī)前(qián)係列(liè)真空計相(xiāng)比，APG200 係列(liè)支持(chí)更(gēng)多(duō)型號(hào)的法蘭(lán)接(jiē)口(kǒu)：

NW16/25

DN16CF

1/8"NPT

4 & 8VCR

0.5'' tube

...

APG200係列的(dí)發布再(zài)次證(zhèng)明了EDWARDS在真空(kōng)測(cè)量的實(shí)力(lì)。

減(jiǎn)少(shǎo)了(liǎo)外觀(guān)尺(chǐ)寸的(dí)同(tóng)時提高(gāo)了(liǎo)性(xìng)能，此(cǐ)係列產品(pǐn)將使(shǐ)我們(mén)在未(wèi)來幾年(nián)能(néng)夠為(wéi)我們的客戶(hù)提供更高(gāo)的(dí)效率(shuài)支持。

AIM-S-NW25,D14641000規格(gé)參數(shù)

壓(yā)力(lì)範圍

AIM-S：10-2至10-8mbar

AIM-X：10-2至10-9mbar

精度(dù)：一(yī)般為±30％

Z big超壓：絕(jué)對(duì)10bar（145psi）

電(diàn)源(yuán)：+13.5到+36 V直流(liú)（Z big 1 V紋(wén)波）

功(gōng)耗：Z big   2 W

輸出(chū)信號(hào)：2至(zhì)10 V DC

設(shè)置點：開(kāi)啟(qǐ)集電(diàn)極晶體管(guǎn)

Z big電壓(yā)：40 V DC

電(diàn)流：100 mA（Z big值）

NW25版(bǎn)本(běn)：不鏽(xiù)鋼304或(huò)306347

氟橡膠(jiāo)，玻(bō)璃(lí)

DN40CF：不(bù)鏽鋼304，316及(jí)347，銅，陶瓷

標準(zhǔn)

EN61326電(diàn)磁兼容性(xìng)（B類輻射(shè)）

防(fáng)護等級IP40

AIM-S-NW25,D14641000產品(pǐn)介紹:

驅(qū)動電子(zǐ)設(shè)備結合於(yú)計(jì)量頭

--降低(dī)係統成(chéng)本

--節省(shěng)寶(bǎo)貴(guì)的機(jī)架空間(jiān)

寬(kuān)範圍，規(guī)範，內部電(diàn)源

--標準直流電(diàn)源(yuán)+13.5到+ 36V運行(háng)

--耐電壓(yā)波動

標(biāo)準模擬(nǐ)量(liáng)輸出0到(dào)10V的直(zhí)流和儀(yí)表標識符

--容易(yì)連(lián)接到計算機(jī)或PLC

--故(gù)障(zhàng)輸出(chū)指示(shì)

低(dī)輸出阻抗和積(jī)分法(fǎ)拉(lā)第屏蔽(bì)

--提供(gōng)高(gāo)層次抗(kàng)噪聲(shēng)能(néng)力(lì)

--允許(xǔ)長距(jù)離(lí)電(diàn)纜（可達100米(mǐ)）

可(kě)互(hù)換體(tǐ)管(guǎn)

--快速管(guǎn)更換(huàn)無需(xū)預(yù)先校(xiào)準

--電(diàn)極服務(wù)套(tào)件允許用戶清(qīng)潔和(hé)維護(hù)

管可烘(hōng)烤(kǎo)：所(suǒ)述DN40CF管(guǎn)是可烘烤至300℃（帶電子移除(chú)）

D特(tè)的(dí)設計(jì)

確保快速醒(xǐng)目，即使在(zài)高(gāo)真空(kōng)或汙(wū)染環境

敏(mǐn)感(gǎn)的分(fēn)析(xī)儀器

低外部(bù)磁(cí)場的(dí)版(bǎn)本（SL和XL）

CSA C / US批(pī)準

（Vacuum Gauge），又名(míng)真空表(biǎo)，是(shì)測(cè)量真空度或(huò)氣(qì)壓的儀(yí)器(qì)。一般是利用不(bù)同(tóng)氣壓下(xià)氣體(tǐ)的某(mǒu)種物理效(xiào)應(yīng)的(dí)變化(huà)進(jìn)行(háng)氣壓的(dí)測(cè)量。在(zài)科研和工業(yè)生產中廣(guǎng)泛使(shǐ)用。